Plasma's zijn geïoniseerde gassen die ionen, elektronen en geëxciteerde soorten bevatten die kunnen worden gebruikt om de eigenschappen van een oppervlak te wijzigen. Plasma's die in O&O en de industrie worden gebruikt, worden koude plasma's genoemd. Deze naam komt van het feit dat het gas op net geen kamertemperatuur blijft, waarbij het energietransport bijna uitsluitend door elektronen wordt verzorgd. Deze eigenschap maakt plasma tot een bijzonder reactief en energie-efficiënt medium. Deze plasma's kunnen worden opgewekt door een elektrisch veld in een gas onder lage druk of bij atmosferische druk. Lagedrukplasma's, of vacuümplasma's, werken bij een druk van 10-2 hPa en vereisen speciale apparatuur. Bij (PE)CVD wordt de afzetting verkregen door ontleding van een gasvormige precursor onder invloed van temperatuur of een plasma.